- лазерный импульсный отжиг
- laser pulse annealing
Русско-английский исловарь по машиностроению и автоматизации производства.
лазерный импульсный отжиг
Look at other dictionaries:
ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ — в узком, первонач. смысле восстановление под действием лазерного излучения кристаллич. структуры приповерхностных слоев полупроводников, нарушенной ионной имплантацией; открыт в 1975 в СССР [1]. Под Л. о. в широком смысле понимают структурные… … Физическая энциклопедия
